
(来源:OLEDindustry)
三星显示正推进将LTPO TFT 引入其第 8.6 代有机发光二极管( OLED) 生产线。

AP Systems ELA设备
据韩媒10月20日报道,三星显示正在考虑建设一条 LTPO TFT 生产线,目前正在就引进关键设备进行磋商。
一位知情人士表示,三星显示正在寻找第 8.6 代 LTPO 设备,目前的目标是在明年第四季度推出。
具体来说,所使用的设备是准分子激光退火 (ELA)。ELA 对于实现 LTPO TFT 至关重要。LTPO 是将具有高电子迁移率的低温多晶硅 (LTPS) 与具有低漏电流特性的氧化物结合而成,而这需要使用 ELA 激光器来实现。

ELA工艺是LTPS的关键工艺。(图片:三星显示新闻中心)
这是三星显示首次在其第 8.6 代制造工艺中准备 LTPO TFT,该公司此前仅部署了氧化物
TFT。目前,该公司处于试运行阶段,每月生产 7500 片(7.5K)玻璃基板。
三星显示除了氧化物 TFT 之外还部署 LTPO 的举动与其之前的做法不同,引起了人们对其背景的关注。
主要原因是为了加强市场响应能力。通过同时准备氧化物和 LTPO 方法,该公司旨在满足多样化的客户需求。
LTPO正在成为领先的 OLED 技术。由于它结合了氧化物的低功耗优势和 LTPS 的高性能、快速电子迁移率,其应用正在获得发展势头。
因此,三星显示在其第 8.6 代工艺中部署 LTPO,以满足笔记本电脑和显示器制造商日益增长的需求。
竞争对手的技术趋势也可能影响了这一决定。京东方、维信诺、华星等显示面板企业决定投资8.6代面板的时间虽然晚于三星,但都选择了LTPO。
一位韩国显示器专家表示,三星显示导入LTPO TFT工艺,可能是因为某个大客户向三星显示器提出了LTPO的要求。
氧化物技术无需使用ELA或离子注入设备,从而降低了制造成本,但LTPO的性能更胜一筹,因为其电子迁移率仅为LTPO的十分之一。
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